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发布:2024/5/4 20:06:59 来源:shxj365


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炉筒升降采用丝杠提升技术,简便干净。特点编辑HD系列硅单晶炉的炉室采用3节设计。上筒和上盖可以上升并向两边转动。便于装料和维护等。炉筒升降支撑采用双立柱设计。即可满足转动所需的扭矩,又可实现转速的控制。质量流量计控制氩气流量。自主产权的控制软件采用视窗,操作方便简洁直观。多种曲线和数据交叉分析工具了工艺实时的。可靠性高,抗干扰性好。双摄像头实时采集晶体直径信息。液面测温确保下籽晶温度和可重复性。炉内温度或加热功率控制方式可选,保控温精度。质量流量计控制氩气流量。维护方便全自动控制系统采用模块化设计高精度真空计结合电动蝶阀实时控制炉内真空度。上称重传感器用于晶棒直径的辅助控制。

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双立柱\双层水冷式结构炉体\水冷式阀座\晶体提升及旋转机构\坩埚提升及旋转机构\氩气系统\真空系统及自动炉压检测控制\水冷系统及多种安全保障装置\留有二次加料口2。主机部分:机架基本介绍编辑1加热器电源:全水冷电源装置采用电源或原装进口IGBT及超快恢复二极管等功率器件。配以高频变压器配备大屏幕触摸式HMI人机界面。后,待大部分硅溶液都已经完成结晶时,再将晶体逐渐缩小而形成一个尾形锥体,称为收尾工艺。这样一个单晶拉制过程基本完成,进行一定的保温冷却后可以取出。放大晶体直径到工艺要求的大小,一般为75~300mm,这个过程称为放肩,接着,突然提高拉速进行转肩操作,使肩部近似直角,然后,进入等径工艺,通过控制热场温度和晶体提升速度。主要部件采用石墨材料和炭毡材料[1]。根据各部分的功能,可以大致分为加热系统,传热及支撑系统,导流系统,保温系统等。并保持在一定温度下进行单晶生长的整个温度场系统直拉硅单晶热场加热器设计分析\1热场及加热器简介直拉硅单晶炉的热场是指为了熔化硅料如加热系统包括加热器直接影响了拉晶生产是否能顺利进行机械等各个领域内的知识2加热器的工作原理与使用要求。4,我们的软件设备通过485或USB接口与计算机互联,可实现单台或者多台电炉远程控制,实时 ,历史记录,输出报表等功能,可无纸记录装置,实现数据的存储,输出,5。炉采用氧化铝多晶纤维材料,保温性能好,耐用,拉伸强度高,提高了使用寿命,2,可抽真空,并能通入多种保护气氛(易,强腐蚀性气体除外),3,超压自动泄压,超温并断电,漏电保护。

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